

解決方案
SOLUTION
晶圓切割機
晶圓被切割后的若干晶粒,間隔極小且極其脆弱,因此該工藝對設備的精度要求相當高。劃片時也需要控制劃片刀的速度及轉(zhuǎn)速,以降低劃片過程振動的頻率,減少劃片時崩碎現(xiàn)象的出現(xiàn)。
方案優(yōu)勢
技術(shù)
滿足半導體設備應用工況技術(shù)指標
降本
滿足技術(shù)指標的同時,較于日系,品牌客戶可節(jié)省成本30%+
貨期
降本的同時貨期更快
服務
快速高效響應服務 省內(nèi)24小時,省外48小時
應用方案
激光晶圓切割設備
• 晶圓切割:半導體封測的關鍵工序 • 高能量激光切割晶圓:精度高、效率高 • 激光晶圓切割設備:需要高精度、恒定的高速度 • 直驅(qū)馬達及直驅(qū)電機模組:作為激光晶圓切割設備中的精密部件,能夠滿足其高精度和恒定加減速的要求
代表機型(DD馬達)
漢驅(qū)智能DDR馬達適用性
能夠很好滿足該設備高精度、恒定速度的要求
通過采用漢驅(qū)智能直驅(qū)運動控制解決方案對劃片機的優(yōu)化,能確保切割的一致性,大幅減少對準和人工檢查時間。224系列無懼硬剛,穩(wěn)準不抖,能夠優(yōu)化負載加速度、降低功耗及系統(tǒng)慣性,實現(xiàn)自動上下料及自動定位劃片,提高生產(chǎn)率的同時能降低人工成本和縮短貨物交期,將大大提升客戶滿意度,增強企業(yè)自身的競爭力。